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基于AFM探针的电晕放电研究

作者: 赵贵 孔德义 Juergen Brugger 陈池来 程玉鹏 李庄 来源:传感器与微系统 日期: 2022-06-26 人气:2
基于AFM探针的电晕放电研究
针对扫描探针显微镜与质谱联用系统中的采样方式,提出了利用原子力显微镜(AFM)探针进行电晕放电解吸附的采样方案。运用ANSYS软件对AFM导电探针进行了有限元仿真,电场分析表明间距100μm加1kV高压时的AFM探针周围场强在0.32—62.4V/μm间,验证了利用其产生电晕放电的可行性;通过实验观察了电晕放电现象及其规律,测得了AFM探针加高压时的伏安特性曲线,为下一步利用AFM探针产生电晕放电进行非触式采样奠定了良好的基础。
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