讨论了在不同光路的仪器上，平晶表面形状的判断方法。具体分析了加压分析判断法的应用技巧，了解其原理，灵活运用；说明了阶跃温升法的通用性，介绍了该方法对于一级平晶表面形状判断的优势；介绍了试测分析判断法的参考价值，说明其适用范围。

本文作者提出了JJF 1100-2003平面等厚干涉仪校准规范中仪器示值误差计算公式存在的问题,并就其结构分类、校准方法和环境条件等作了进一步探讨。