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> 平晶表面形状
基于不同光路仪器的平晶表面形状判断方法探讨
作者:
宫美望
来源:
计测技术
日期: 2023-02-28
人气:5
讨论了在不同光路的仪器上,平晶表面形状的判断方法。具体分析了加压分析判断法的应用技巧,了解其原理,灵活运用;说明了阶跃温升法的通用性,介绍了该方法对于一级平晶表面形状判断的优势;介绍了试测分析判断法的参考价值,说明其适用范围。
关键词:
平晶表面形状
加压分析判断法
阶跃温升法
平面等厚干涉仪
激光平面等厚干涉仪
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