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> 微进给平台
纳米级大行程多维运动平台的方案研究
作者:
刘向阳
郁鼎文
冯平法
孙国梓
来源:
制造技术与机床
日期: 2023-02-28
人气:6
针对微尺度复杂三维结构加工中的关键部件--三维微进给平台进行了研究.对国内外的高精度运动平台的原理及特点进行了总结和分析.目前还没有百毫米行程、精度可达纳米级的进给平台.针对这一点,文中提出了几种可满足上述要求的进给平台的设计方案,并分析了各自的优缺点.
关键词:
运动平台
微进给平台
行程
高精度
纳米级
三维结构
关键部件
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