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纳米级大行程多维运动平台的方案研究

作者: 刘向阳 郁鼎文 冯平法 孙国梓 来源:制造技术与机床 日期: 2023-02-28 人气:6
纳米级大行程多维运动平台的方案研究
针对微尺度复杂三维结构加工中的关键部件--三维微进给平台进行了研究.对国内外的高精度运动平台的原理及特点进行了总结和分析.目前还没有百毫米行程、精度可达纳米级的进给平台.针对这一点,文中提出了几种可满足上述要求的进给平台的设计方案,并分析了各自的优缺点.
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