余弦变换三维物体轮廓术的改进
利用余弦变换获取三维物体面形的技术已得到了应用。但该技术在测量高度梯度(垂直光栅方向)变化率较大的物体时会产生误差,高度梯度变化率大到某一值时,将不再合适。为此采用余弦光栅能较好地解决这一问题,它可将测量范围扩大到原来的3倍。从理论上证明了将物体高度变化率大一面朝光栅放置,可以进一步拓宽余弦变换法的测量范围,以文中的系统为例,其扩大倍数可达到原来的57倍,远大于3倍。
强激光光学元件表面功率谱密度函数估计
在扼要描述了光学元件表面轮廓测量中功率谱密度(PSD)函数的基本概念、公式和应用基础上,重点讨论了光学元件表面低频和中高频空间频率PSD对光场分布的影响,并给出了强激光光学元件表面PSD函数曲线的几个实测结果。
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