随着微电机系统（MEMS）在众多领域的广泛应用，各种形式的微型驱动器不断得到发展。介绍微尺度光热膨胀与光热微驱动的原理，设计与加工制作了基本型和优化型触点式微型光热驱动器，开展了光热微驱动的实验研究，证明了光热微驱动的可行性，并验证了优化型触点式微型光热驱动器的优化性能。