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关键词文章列表
> 离子束加工
光学表面超精密加工技术
作者:
张华
王文
庞媛媛
来源:
光学仪器
日期: 2023-03-19
人气:5
介绍了国内外光学器件超精密加工的各种先进方法,重点阐述了磁流变抛光技术及其抛光机理和关键技术.并对光学超精密加工技术的发展进行了展望.
关键词:
光学器件
超精密加工
磁流变抛光
离子束加工
等离子体辅助抛光
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