介绍了用于复合轴式光电精密跟踪的双X-Y轴FSM控制系统,即增加了与原X-Y控制轴成90°的2个虚轴,以实现对误差变化量的控制.仿真测试表明该子系统可以对主系统高频噪声进行有效抑制,较单X-Y轴控制精度提高了6″.