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三维轮廓扫描法测量透镜曲率半径的实验研究

作者: 定翔 李飞 洪宝玉 来源:应用光学 日期: 2024-01-21 人气:2
三维轮廓扫描法测量透镜曲率半径的实验研究
三维轮廓扫描方法可通过连续扫描透镜表面三雏空间形貌,拟合得到其曲率半径值。该方法具有测量精度高、可任意选定测量区域、测量力微弱、对光学表面划伤可忽略等优点。通过实验,研究了三维轮廓扫描法测量透镜曲率半径的精度,并分析了测量区域大小、扫描间距等因素对测量精度的影响。实验结果表明,该方法测量凸、凹球面透镜的曲率半径的相对重复性可达到1×10^-4。
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