描述了一个新研制的二维干涉图自动采样与处理的原理和由离散的采样数据进行波面拟合的数学模型,给出了一个干涉图自动采样与处理的实例.由于在该模型中利用了 Zernike 多项式系数协方差的增广矩阵,因而比用 Gram-Schmit 正交化法求 Zernike 多项式系数的方法更为简洁.所研制的干涉图自动采样与处理系统精度高,功能齐全,使用方便,适用于一般干涉图的事后处理.

干涉法测量螺距、半角的应用已很广泛,确定修正量值是该方法用于测量中径需要解决的问题.本文推导出了垂直光的修正量计算公式,提供了测量圆柱体直径和螺纹中径的修正量值表.