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光干涉方法在角度偏差测量中的应用

作者: 陈磊 王青 何勇 来源:红外与激光工程 日期: 2024-01-31 人气:2
光干涉方法在角度偏差测量中的应用
介绍了应用光学干涉原理测量棱镜光学平行差的方法。棱镜可等效展开为玻璃平板,其入射面与出射面的光程差恒定,通过波长调谐方法,改变等效玻璃平板之间的位相差,从而用移相干涉术测量了光学棱镜的光学平行差。介绍了一种立方体玻璃90°偏差测量的新方法,斐索干涉仪的测试光束以45°入射到立方体玻璃内,入射波面经立方体90°二面角自准直反射,与干涉仪参考波面相干形成干涉图。分析了干涉波面与立方体玻璃二面角误差之间的关系,并通过移相式干涉仪给出了实测结果。
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