针对现有ＬＳＩ基板研磨过程中，表面误差修正中存在的问题，提出了一种表面误差自动修正系统。该系统采用激光技术测量研磨中的基板表面状况；并以此为基础建立加工状况数据库，同时采用楔形机构对基板表面误差修正控制。

本文讨论了棱镜表面误差（主要是局部误差）对波面面形的影响，给出了计算公式及其证明。并以直角棱镜和列曼棱镜为例进行了计算和讨论。