MEMS矢量水听器是一种新型的水声传感器，对这种传感器的原理进行了简要介绍。为了验证该MEMS矢量水听器阵列的目标估计性能，进行了矢量阵的深海实验研究，选取了MUSIC算法应用于该MEMS矢量阵。实验结果表明：在复杂海洋环境中，该MEMS矢量阵能够实现对目标的方位估计和水下运动目标的航迹跟踪，从而验证了该MEMS矢量水听器成阵的可行性，为工程化应用奠定了基础。