气体传热对多层绝热性能影响的试验研究
文中通过建立的能进行夹层气体置换的稳态量热器试验系统,试验分析了夹层气体传热对多层绝热材料有效热导率的影响,重点对置换气体种类、气体压强、材料层数及冷热边界温度对多层材料的影响进行试验研究。试验表明在10-60层/cm层密度范围,真空度低于100Pa时,K数属于自由分子状态区域和中间压强区域,此时材料的有效热导率随残留气体热适应系数的增大而减小,并随着真空度的降低而增大,当残留气体为空气时,为保证多层材料的绝热性能,应尽量维持真空度不低于10^-2Pa。同时,分析表明为有效降低低真空下稀薄气体传热对多层绝热性能的影响,可以采用综合热适应系数较低的气体置换夹层中的空气,以减少低真空多层绝热材料的有效热导率,改善绝热性能。
MEMS微平面构件的空气阻尼效应研究
对垂直于衬底表面运动的微平面构件产生的空气挤压阻尼进行研究.从非线性修正雷诺方程出发,计入稀薄气体效应,建立微平面空气挤压理论模型,用有限差分法进行求解.研究揭示了在谐振挤压运动周期内挤压膜的性能变化.研究发现,气体稀薄效应必须在理论分析模型中计入,否则,将高估空气阻尼的影响.微构件平面尺寸增大将增大挤压阻尼力,且阻尼力的增大速度大于微构件面积的增大速度.谐振频率的提高将显著增强空气阻尼效应.
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