研制了一种新型的电磁驱动式无阀微泵,该微泵利用有机玻璃制作泵腔,采用扩散口/喷口的结构,以PDMS作为振动膜,利用扁平振动电机作为驱动部件。对微泵的振动频率和输出流量进行了测试,结果显示,电压在1.0 V～1.8 V范围内时,微泵的输出流量随着电压的升高而增加,当电压在1.8～3.3 V时,微泵输出的流量保持稳定,达到150μL/min。具有良好的性能和低廉的成本。