扫描探针显微镜（SPM）作为高精度显微工具的同时，还可以作为加工工具对样品表面进行刻蚀加工。扫描探针刻蚀加工技术（SPL）近年来发展迅速。本文综述了基于SPM的扫描探针机械刻蚀技术，并介绍了DPN技术的机理及最新研究进展。