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> 雾化给药
压电驱动阵列微喷的加工及实验研究
作者:
朱俊华
周兆英
杜桂彬
冯焱颖
林冬
来源:
压电与声光
日期: 2024-03-18
人气:13
介绍了一种基于微电子机械系统(MEMS)技术的阵列微喷的加工和实验结果。利用微细加工技术,在硅片上制作了上千个直径够5~20μm的微喷孔阵列。该微喷以压电效应为驱动方式,通过压电片振动所产生的压力使液体从微喷孔中喷出。具有所产生的液滴直径和速度分布集中,无热效应的特点。采用激光相位-多普勒粒子分析(PDPA)系统对不同工作条件下液滴的直径和速度进行了研究。
关键词:
微电子机械系统(MEMS)
雾化给药
微喷
压电驱动
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