介绍一种基于平面等倾干涉原理的机器视觉高精度平面度测量系统。它利用等倾干涉原理，通过CCD提取随平面度变化的明暗相交干涉圆环条纹信息，根据条纹中心不变性和中心对称性，以开始测量点适当级次条纹中心为参考条纹，间隔90°建立4个扇形窗口，对窗口内条纹信息处理，得到细化后条纹与参考条纹径向间距，参照前一测量点干涉条纹径向位置，得到干涉条纹在各测点的变化量N。该N值既能反映出半波长整数倍，又能反映半波长小数倍的测点高度差信息，利用最小二乘原理，处理N值，得到极高精度的平面度测量误差。