针对石英挠性加速度计目前存在的稳定性不好、温漂较大及不能兼顾大量程和高灵敏度测量等问题，提出了使用通电线圈代替永磁材料提供支承磁场，在石英摆片上双面光刻螺旋线圈作为力矩线圈的构想，并以此为基础初步设计了基于平面线圈、灵敏度可调的石英挠性加速度计。经过建模分析，可以达到预想的效果。

设计了一种应用于微机电系统中的微型电磁驱动器。该微驱动器主要由平面正方形线圈、弹性支撑和坡莫合金薄片构成。采用微细加工技术成功地制作出了这种微驱动器。该驱动器具有较大的驱动力和行程，适用于垂直方向上需求较大偏转的微机电系统中。研究了平面线圈对坡莫合金磁体的微小作用力，并用有限元模拟软件ANSYS，对该作用力进行了模拟分析。