扫描近场光学显微镜(SNOM)是基于非辐射场的产生和探测,能够实现超衍射极限分辨率的光学成像.但纳米精度的压电陶瓷扫描器的非线性始终是影响成像质量的关键问题.该文提出了改善SNOM系统中压电陶瓷扫描器的非线性特性的方法.在测得的压电陶瓷位移-电压关系的基础上,运用校正压电陶瓷非线性的方法,使压电陶瓷扫描器位移输出的线性度大幅度提高,相关系数从0.99提高到0.999 9.实验结果表明,经过非线性校正,SNOM光学图像质量得到明显改善.