在系统级分析方法的基础上，设计一种梳齿式加速度计的系统模型，相对常用的实体建模方法，该模型能够快速精确地实现模型的频谱分析及参数的优化．由于硅是一种热敏材料，温度的变化会引起结构变形，形成较大的输出误差，故对温度变化引起几何结构的变化进行参数仿真研究，得到加速度计温度误差最小时的工作环境温度范围．