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> 畸变检测
大视场投影光刻物镜的畸变特性检测
作者:
马韬
沈亦兵
来源:
光子学报
日期: 2024-03-06
人气:38
畸变特性是光刻物镜的关键指标,目前少有报道,提出了一种大视场投影光刻物镜畸变测量原理,测量系统和测量数据的处理方法.利用该装置对研制的口径6英寸,分辨率3 μm的物镜进行了测量,得出该物镜在全视场的畸变值小于2.0 μm.
关键词:
光刻
畸变检测
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