本文提出了一种基于光杠杆原理非接触式的纳米级微位移测量系统。该系统通过光学方法对微位移量进行放大，光学放大倍数高，该系统的理论分辨率可达4nm，实际测得静态分辨率小于10nm。信号处理采用基于高精度一维PSD的信号探测电路，并且通过设计有效地抑制了噪声和干扰。实验中使用PZT作为被测物的微小位移驱动器，与电容测微仪JDC-II所测数据进行了验证比较，系统所测得的数据证明了其正确性和可行性。并且该系统受温度影响小，结构简单，便于使用MEMS技术集成和微型化。