将实现微尺度温度测量的技术按其温度控制方式分为两类,即控制探针的温度和控制样品的温度,所对应的仪器为扫描热显微镜和各类可直接应用于普通扫描探针显微镜的变温样品台,分别介绍其结构、工作原理及应用情况,分析了这两类具有不同控温方式的仪器的区别,并进一步讨论了目前在扫描探针显微镜变温辅助设备中仍然存在的问题以及实现变温扫描的扫描探针显微镜的发展前景.

综述了PID控制在热处理炉温度中的应用和发展，说明了PID控制技术与炉温控制的应用趋势，并结合当今PID控制技术与模糊控制理论、人工智能和神经网络控制，说明其在炉温控制的先进控制思想中的应用，为进一步提高PID技术的实用性提供指导。