基于MEMS技术的微型热导检测器的研制
文中采用MEMS技术加工研制了一种新型热导检测器，这种微型热导检测器采用电阻率高、电阻温度系数大的Pt热敏电阻，利用MEMS技术将Pt薄膜沉积在Pyrex7740玻璃上并通过剥离技术获得热敏电阻，而气体通道以及热导池是通过深刻蚀在硅片上刻蚀得到，热导池的体积为0．4μL.这种热导检测器具有灵敏度高，不受气流影响，不易氧化等特点，适用各种混合气体分离检测。
103气相色谱仪三例故障维修
通过三例故障现象的分析,介绍103气相色谱仪热导池检测器、热导池温度控制器和微电流放大器的工作原理.
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