采用电弧熔炼结合高温退火技术制备(Mo1-xNbx)5Si3(其中，x=0.0，0.2，0.4，0.6，0.8，1.0)系高温合金，研究了退火处理对其组织和性能的影响。结果表明：退火使合金组织趋于均匀化，Mo的加入使Nb5Si3合金的组织由α型向β型转变;退火前后试样的硬度均呈先增高后降低的抛物线规律，退火后试样的硬度高于退火前的硬度;断裂韧性呈先降低后升高的规律;断口主要以脆性断裂为主。

采用高分辨透射电镜技术对两种硬质薄膜（AlTiN多层薄膜和AlCN非晶薄膜）样品的显微结构进行了研究。结果表明：在高速钢基体上制备的AlTiN多层薄膜由两种氮含量交替变化的膜层构成，尽管交替的两层中氮含量不同，但每一单层都为纳米晶包含在非晶点阵中的纳米复合结构，不同之处是低氮含量层中纳米晶密度较小；生长在单晶硅基体（100）晶面上的非晶AlCN薄膜，在膜基界面处硅基体上出现应力畸变层，应力畸变层厚度很薄，约3～5个原子层。比较Si的应变层和非应变区的傅里叶变换结果，片状的应变层产生形状效应，使得傅里叶变换图中斑点沿垂直于片状应变层方向拉长成线状。