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静电探针测量射频耦合等离子体的抗干扰方法

作者: 晋荣 程健 来源:仪表技术 日期: 2023-08-09 人气:1
静电探针测量射频耦合等离子体的抗干扰方法
在使用基于微控制器的静电探针自动测量仪对射频耦合等离子体进行诊断时,为了获得良好的测量效果,分析了射频耦合等离子体测量环境中主要干扰源的形成原因及其耦合路径,特别是射频和电源干扰;结合测量仪本身的特点,针对性地提出了屏蔽、接地、隔离、滤波等多种抗干扰措施。通过实验对比验证了所采取措施的有效性,这为获取更为准确的等离子体参数提供了保证。

基于单片机的静电探针自动测量系统

作者: 陈柱 程健 刘汉斐 张永合 来源:自动化仪表 日期: 2022-05-23 人气:7
基于单片机的静电探针自动测量系统
介绍了一种基于单片机的静电探针测量系统的实现方法,其原理是采用D/A转换器MAX531及A/D转换器TLC1549实现了静电探针I-V特性曲线的自动测量。对系统的结构特点做了介绍,详细讨论了系统的硬件组成和软件设计,重点阐述了MAX531和TLC1549硬件设计以及与单片机的接口电路,给出了相关参考程序。结合抗干扰技术,提高了系统的可靠性,使得获取数据快速、准确。该系统在实际使用中已取得了良好的效果。
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