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非球面检测中偏心光束对焦系统设计

作者: 郭隐彪 魏丽珍 来源:制造技术与机床 日期: 2024-08-27 人气:25
非球面检测中偏心光束对焦系统设计
针对常规非球面检测技术存在的问题,特别是测量高精度工件表面具有一定的局限性,提出一种非接触式测量技术,即自动对焦测量技术.自行设计了一套偏心光束对焦系统.光路采用激光作为光源,一维位置敏感器件PSD作为光电探测器.激光、柱面平凸透镜和反射镜构成偏心光束对焦光路.电路分为PSD信号处理电路和电动机驱动电路,具有电压放大、消除地面干扰和滤波等作用.
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