碧波液压网 欢迎你,游客。
登录
注册
菜单
门户
文章
液压传动
气压传动
机械工程
测量与控制
期刊
介质与基础理论
液压件与机具
工业液压传动
液压控制技术
水压与液力传动
车辆与工程机械
气动与密封
故障诊断与检测
现代设计方法
机械工程
科学技术
教程
手册
液压设计手册
机械设计手册
机械设计计算手册
表面工程技术手册
新版机器人技术手册
其它
论坛
登录
注册
门户
>
关键词文章列表
> 图形畸变校正
振镜二维扫描的图形畸变校正和曝光量补偿
作者:
万志
杜温锡
来源:
光学精密工程
日期: 2023-10-14
人气:71
主要讨论了物镜前振镜二维扫描光学系统中图形畸变的产生原因,分析比较了图形畸变与振镜布放、像面坐标系方位及fθ特性误差等的关系,并结合视场大小为75×75的实际物镜fθ特性误差的最小二乘拟合,给出了校正图形畸变的准确关系式。另外,在矢量扫描方式中光斑移动速度的非线性会导致扫描图形各部分曝光不均匀,文中也给出了对扫描图形曝光量加以补偿的方法和公式。
关键词:
曝光量补偿
图形畸变校正
振镜二维扫描
点击阅读
共1页/1条