对近年来硅微机械加工技术(MEMS)工艺研制的几种微传声器进行了论述,对其优缺点进行分析和研究表明这些传统的传声器主要起声电转换的作用,对噪声信号的滤波处理是由专用滤波电路完成,或者用数字滤波进行处理.为此提出了一种硅微阵列滤波器传声器,在转换信号的同时实现滤波.讨论了阻尼和硅簧片根数对动态特性的影响,并由此得出阻尼的增加会降低传声器的灵敏度,簧片根数的增加可以改善灵敏度曲线.而且在获取噪声信号的同时能够实现滤波.

进行了微机构液体输送的实验研究。在分析了挤出各阶段的工作过程的基础上，分析了粘度对转矩、有效功和摩擦力等性能的影响，并实验测量了液体粘度对挤出效率和挤出时间的影响。结果表明：液体输送过程中，液体的粘度对挤出率和功耗等有显著影响，且液体粘度的影响存在一个最优点。在该点处，不仅可以实现较高的挤出效率和较少的时间，而且所用的功率、转矩较小，摩擦损耗也较少。