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纳米级微动试验台的隔振设计研究

作者: 刘平成 吴晓琳 来源:机械设计 日期: 2023-10-08 人气:11
纳米级微动试验台的隔振设计研究
通过二锥隔振系统的力学分析,得到关于质量、刚度、阻尼比三方面结论,指导多自由度隔振系统的设计,设计出了纳米级微动试验台的隔振系统。仿真实验表明,该系统具有良好的隔振效果。此隔振设计方法对超精密机床、超微定位机构等超低传递率隔振设计有一定的参考价值。
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