传统的以PC机为控制核心的AFM（atomic force microscope）来越无法满足快速成像的要求，具有先进控制系统的高速AFM正成为国内外的一个研究热点。本文介绍了一种以DSP（digital signal processor）为控制核心的AFM系统。在该系统中，自动进针，退针、扫描电压的产生、A／D采样、D／A输出以及数字闭环反馈控制等任务均在DSP控制下完成；在分辨率为．512×512时，可以获得行频55Hz的扫描速度。实验表明，即便在这样高速扫描的情况下，该系统仍具有良好的成像性能。