用PZT换能器驱动热声制冷这一微型制冷方式除具有无运动部件、运行稳定和可实现无级调节等优点外,还具有压电换能器的诸如防潮性能好、不受磁场影响和热稳定性好等优点.该文在简要介绍热声制冷原理和PZT驱动热声制冷系统之后,对PZT驱动的热声制冷机性能进行模拟分析,考察了一些主要的结构参数和运行工况(包括平均压力、压比和工质等)对系统性能的影响情况.最后,还基于计算结果提出一实验系统的设计方案.

超声换能器是超声键合装备的一个重要组成部分,芯片的键合质量与超声换能器的响应有着非常密切的关系。通过有限元分析软件ANSYS进行建模,获得换能系统谐响应曲线,并利用多普勒测速仪验证有限元分析的结果。