分析了大功率RF天线阻抗的测量原理，提出了传输线探针阵列的测量方法，建立了数学模型，构建了天线阻抗的测量系统，集数据采样、数据处理、参数计算等功能于一体，实现了大功率RF天线阻抗的自动测量，给出了系统的实时测量结果。