利用实验中测得的高次谐波，对实验中使用的美国Acton公司生产的VSN-515型0.5m真空紫外单色仪进行标定，标定结果表明，单色仪的数字式波长显示器直接读出以0.1nm为单位的波长数值与实际的射线辐射波长值符合的很好，但是，每次对射线辐射测量时，光栅必须从波长短向波长长的方向进行扫描，否则会出现由于单色仪驱动光栅转动的步进电机向不同方向转动引起的误差。