介绍了一种新型的纳米级精度位移测量激光干涉仪。提出了耦合差动干涉的地光程差倍增，提高了干涉仪的分辨率和稳定性，该干涉仪洁紧凑，光路布局对称性好，不存在死光程，容易装调，符合阿贝原则和结构变形最小原则，在１０ｍｍ测量范围内，获得了λ／１６００的分辨率和纳米级的测量精度。