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> 光热调制
用于纳米精度大范围位移测量的半导体激光干涉仪
作者:
王学锋
王向朝
钱锋
卢洪斌
宋松
步扬
来源:
中国激光
日期: 2024-05-10
人气:17
在光频光热调制半导体激光正弦相位调制干涉仪的基础上,提出了一种扩大其测量范围的方法,使得在保持纳米精度的前提下,测量范围由半个波长扩大为125.56 μm,并讨论了进一步扩大测量范围的可能性。本方法得到了模拟计算和实验结果的很好验证。
关键词:
纳米测量
光热调制
激光干涉仪
半导体激光器
光学检测
位移测量
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