介绍一种可用于在线和在位检测的高分辨力激光轮廓仪。此仪器具有很 高的共模 抑制比和同类型仪器中最小的形状误差。分辨力优于0.2nm（Ra）。可以摆放在金刚 石车床的刀架上测量超精密加工表面微观形貌。