尽管大多数工业观察家都预测 在未来的5年里微机电系统(MEMS)的销售量将有可能迅速增长,然而,现在只能期望已经建立完善的MEMS生产线,诸如气囊加速计,汽车发动机绝对压力 传感器,血压传感器以及热喷墨印刷机头等的销售额会有一定的增长.本文对MEMS的商业机遇做了评估,预测了未来市场的规模,并讨论了未来技术的挑战性.