粘附现象是微／纳机构中特有的现象，在构件材料强度满足要求的条件下，微／纳机构中的粘附和摩擦是造成其失效的主要原因。如何防止或减轻粘附已成为微／纳机电系统（MEMS/NEMS）领域的研究热点。介绍了缈纳机构中的粘附问题，分析了粘附机理和各种粘附接触模型，说明了表面能法和微凸体积分法防粘附设计微／纳机构的原理，最后阐述了释放干燥工艺、减少实际接触面积和降低表面能等各种抗粘附措施。