本文介绍光切显微镜数显化.通过CCD摄像光学系统接收视频图像,利用VC++实现图像的开关、保存,应用Matlab把接收到的图像进行分析处理,并完成Ra、Rz、Ry参数计算,实现自动测量.

本文介绍一种简便的薄膜厚度测量方法.可在普通的光切显微镜上,利用光切原理测量薄膜厚度.能测量0.8～80微米的薄膜厚度.

讨论了使用光切显微镜测量零件加工表面微观形状的表面粗糙度时应注意的几个问题,对物镜的合理选择和安装、光带的正确调整、仪器的调整与校验、测量方向的确定、合理的定度与取值、精确的读数及计算等方面进行了详尽的阐述,为操作者正确使用设备、获得可靠的测量数据以及减少误判提供了有效的帮助.

光切显微镜是精密的计量仪器,可测量R0.8~100μm的粗糙度。它所用光切法原理,就是利用一狭窄的扁平光束以一定的倾斜度投射到被测表面上,光束在被测表面上发生反射出来的表面微观不平度,在光束方向上用显微镜来观测。在仪器测量前,应先用标准尺对仪器进行定度,再将被测件放入物镜下,使被测的粗糙度成像在视场中,再按要求进行粗糙度的测量。整个方法复杂并且眼睛易疲劳,为了提高测量精度,实现光切显微镜测量的数显化,我们尝试改造现有的光切显微镜,在保留目测的前提下,在原照相系统中接收图像信号,选用面振CCD来接收二维图像信号,通过面振CCD光电转换和存储过程,输出视频信号,并进行信号实时处理。实现数显化,简化整个测量结果,提高工作效率。