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HP5510自动补偿器分辨率分析及提高近一个量级的方法

作者: 屈胜利 朱欣志 来源:电子工业专用设备 日期: 2023-07-18 人气:28
HP5510自动补偿器分辨率分析及提高近一个量级的方法
带有空气,材料温度补偿器HP5510A的激光测量系统中,以材料温度变化对测量,加工精度影响最大。分析了不同情况HP5510对材料温度的分辨率,指出HP5510在室温偏离国内外公认HP规定的20℃恒温条件下,精度与分辨率可提高近一个数量级,并做试验证明了这一点。
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