温度变化是影响纳米干涉仪的一个重要的因素。介绍了一种精密的温度控制仪器，它以ＤＳ１６２４为温度传感器，利用单片机ＡＴ８９Ｃ５２进行数据的采集，传送，温度的控制，利用数字式电位器实现低成本的模拟量控制方案。标定后可以实现０．０５℃测量精度。