相移误差是影响干涉显微镜测量表面形貌精度的主要因素之一，介绍了四帧算法，五帧算法，四帧免疫算法，五帧免疫算法的原理和计算公式，并对其特点进行了分析比较，利用自行研制的带旋转检偏器的干涉显微测量系统，分别用四种算法对Ra=0.35μm和Ra=0.09μm粗糙度样块进行了实测，结果表明，五帧算法的重复测量精度优于0.5nm，五帧免疫算法的重复测量精度优于0.3nm，同时对在普通干涉显微镜上进一步提高其测量精度做了初步探讨。

提出了相位测量轮廓术中一种新的相移误差求取算法,利用了正弦投影条纹中相邻像素点间相位差的相等性特点,以相邻3个相位点为研究对象,结合相位补偿测量原理,将每个相位点的相位由含相移误差的方程表示.依据相邻两点相位差相等的特点,构造出一个求取相移误差的方程.将这种方法求出的相移误差代入相移公式中进行误差补偿,仿真结果验证了新算法对相移误差的抑制效果.最后利用新算法对实物进行了三维重构测量,从最终得到的结果明显可以看出,使用新算法进行误差补偿后,对实物的重构效果较清晰,误差提取算法有效地提高了三维测量的精度.

相移器的相移误差包括平移误差与倾斜误差，使同一幅干涉图诸像素点的相移量并不相等，但仍然在同一平面上。据此，本文提出了消除相移器位移误差与倾斜误差的最小二乘迭代算法。通过对相移平面的最小二乘拟合，即可以消除相移器平移误差与倾斜误差对位相分布求解结果的影响。并通过数值模拟，验证了这种算法在消除相移器位移误差与倾斜影响上的有效性。