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利用液体桥力的微球转移操作

作者: 郭百巍 刘兵 汪家道 陈大融 来源:清华大学学报(自然科学版) 日期: 2024-04-12 人气:20
利用液体桥力的微球转移操作
为了克服粘着对微机电系统装配的影响,提出了一种利用液体桥力实现微球转移操作的方法.利用操作臂和微球之间的液体桥力实现微球的抓取,利用目标平面和微球之间的液体桥力实现微球的释放.对微球受力的理论分析表明,重力可以被忽略.由于干燥微球和粗糙平面之间的粘着力很小,抓取操作容易实现;释放操作要求操作臂末端的半径小,操作液体的界面能尽量低.使用该方法实现了一种微滚动导轨的装配,从而验证了该方法的可行性.
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