由于微机械制造具有加工尺寸小、成型分辨率要求高等特点,微机械的快速成型微细加工工艺存在着不同于通用快速成型工艺的特殊问题及关键技术.该文对微机械光成型微细加工工艺和系统构成等进行了研究,制作了国内第一台微机械光成型实验系统,并加工出微曲柄等微零件,探索了快速成型微细加工技术制造微机械的新路子.最后提出了微机械快速成型微细加工的几个研究方向.