介绍了一种新型的基于聚焦探测法的自然焦点跟踪传感器，该传感器可实现表形貌的快速、非接触测量，其垂直测量范围为５００μｍ，最高分辨率为３ｎｍ。文中详细叙述了该传感器的工作原理、关键技术的实现及其应用。