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变形镜像差拟合能力的有限元仿真

作者: 周超 杨洪波 王富国 林旭东 来源:光子学报 日期: 2023-07-03 人气:11
变形镜像差拟合能力的有限元仿真
为了研究变形镜对于Zernike多项式像差模式的拟合能力,利用有限元仿真方法,建立了两种不同单元排布方式的变形镜有限元模型.通过给促动器施加理论位移,进行了仿真分析.结果指出了不同的促动器排布方式与像差拟合能力之间的关系,同时表明57点促动器密布的排列方式已经能校正像差到λ/20甚至更小,验证了促动器对变形镜"印透效应"等的影响.
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