研究了一种硅微陀螺仪，为了提高品质因数，将其封装在Ф15．5mm×6mm的真空腔内．采用一种新方式实现了闭环自激驱动，该方式解耦了闭环驱动的相角和增益条件；优化设计了接口线路，消除了大部分耦合电容；推导开环检测时传递函数、静态灵敏度、带宽的表达式，并分析其影响因素．实验结果表明：驱动频率在1h内相对变化量为0．00022％；1h内驱动幅度相对变化量为0．0015％；标度因数为12mV／（°·s^-1），线性度为0．0758％，陀螺输出信号噪声低于131．6μV／Hz^1/2．

为提高微机械陀螺的检测精度,稳定驱动振动速度幅度,提出了微机械陀螺的自激驱动方式,它能够使驱动振动自动稳定在驱动模态的固有频率上振动,以及保持恒定的驱动振动速度幅度.根据自激驱动电路原理,建立了驱动动力学方程的等效电路模型,用PSPICE软件对电路的工作状况进行了模拟,模拟结果验证了该方法切实可行.