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微机械加速度计挠性梁机械刚度的实验研究

作者: 李疆 高钟毓 董景新 来源:传感器技术 日期: 2024-03-29 人气:16
微机械加速度计挠性梁机械刚度的实验研究
在使用开环频率响应实验求取微机械加速度计挠性梁机械刚度时,不可避免地受到静电负刚度的影响.通过分析预载电压和扫频信号幅值对静电负刚度的影响,提出了从系统刚度中分离出挠性梁机械刚度的计算方法.通过不同实验条件下得到的实验结果,验证了该方法的正确性.
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