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> 机械刚度
微机械加速度计挠性梁机械刚度的实验研究
作者:
李疆
高钟毓
董景新
来源:
传感器技术
日期: 2024-03-29
人气:16
在使用开环频率响应实验求取微机械加速度计挠性梁机械刚度时,不可避免地受到静电负刚度的影响.通过分析预载电压和扫频信号幅值对静电负刚度的影响,提出了从系统刚度中分离出挠性梁机械刚度的计算方法.通过不同实验条件下得到的实验结果,验证了该方法的正确性.
关键词:
微机械加速度计
挠性梁
机械刚度
频率响应
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